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CCD制造的关键工艺
CCD制造的关键工艺
来源 :传感器世界 | 被引量 : 0次 | 上传用户:rcs84719
【摘 要】
:
CCD(电荷藕合器件)是一种在硅集成电路工艺线上制作的图像传感器.本文介绍了CCD的基本工作原理和制造的单项工艺,并详细介绍了其关键工艺:氧化、光刻、离子注入,还对各工艺所
【作 者】
:
武利翻
【机 构】
:
重庆邮电学院2003级硕士研究生
【出 处】
:
传感器世界
【发表日期】
:
2005年2期
【关键词】
:
CCD
氧化
光刻
离子注入
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CCD(电荷藕合器件)是一种在硅集成电路工艺线上制作的图像传感器.本文介绍了CCD的基本工作原理和制造的单项工艺,并详细介绍了其关键工艺:氧化、光刻、离子注入,还对各工艺所遇到的问题、相应的解决方法及发展状况进行了阐述.
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