【摘 要】
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热管具有远高于大多数金属的导热性能,已被广泛应用于电子元器件的散热方面.由于电子元器件正朝着微型化、薄型化、片式化和高功率等趋势发展,因此散热元件必须同时具备轻薄
【机 构】
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Department of Mechanical Engineering, University of Colorado,
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热管具有远高于大多数金属的导热性能,已被广泛应用于电子元器件的散热方面.由于电子元器件正朝着微型化、薄型化、片式化和高功率等趋势发展,因此散热元件必须同时具备轻薄和高导热系数的特点.本文介绍了一种由高分子材料制造的超薄热管的设计和制造过程.其厚度为0.30 mm,大小为2 cm×6 cm,输入功率为9.54 W时,有效传热系数为541 W/(m K).管壳材料为kapton薄膜,吸液芯和蒸汽腔均由光阻SU8组成,光阻SU8柱子的大小和柱子之间的间隔差异为吸液芯提供了毛细血力;另外,通过原子层积电镀,SU8光阻和kapton薄膜都覆盖上一层极薄的Ti O2膜,改善了表面和吸液芯的亲水性能,同时实现了密封.
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