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对声表面波（SAW）氢传感器的研究目前主要集中在改善其敏感性、加快响应速度、增强稳定性以及消除温度的影响。要实现这些目标，一是改善SAW氢传感器的关键部件一敏感薄膜的性能；二是改进传感器的结构。对主要研究机构在这些方面的研究进行了系统的综述，并提出了发展方向。
SAW氢传感器的研究进展
【摘 要】
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对声表面波（SAW）氢传感器的研究目前主要集中在改善其敏感性、加快响应速度、增强稳定性以及消除温度的影响。要实现这些目标，一是改善SAW氢传感器的关键部件一敏感薄膜的性能；二
【机 构】
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南京工业大学机械与动力工程学院,卡尔斯鲁厄大学
【出 处】
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传感器与微系统
【发表日期】
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2007年3期
【基金项目】
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江苏省自然科学基金资助项目（BK2004214）
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