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在阐述ＭＥＭＳ技术的基本概念、意义、传感ＭＥＭＳ的基本模型和国内外研究状况的基础上，重点阐述 ＭＥＭＳ技术的加工工艺及在未来的发展景前景．
MEMS研究与发展前景
【摘 要】
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在阐述ＭＥＭＳ技术的基本概念、意义、传感ＭＥＭＳ的基本模型和国内外研究状况的基础上，重点阐述 ＭＥＭＳ技术的加工工艺及在未来的发展景前景．
【机 构】
：
.黑龙江大学电子工程学院
【出 处】
：
黑龙江大学自然科学学报
【发表日期】
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2002年01期
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