【摘 要】
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设计了20 GHz聚合物光波导电光调制器CPW电极系统.制作和测试了分别用Si、石英、玻璃做衬底的CPW电极系统.结果表明,石英衬底CPW电极质量最好,在中心电极宽度W＝20 μm、电极间
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设计了20 GHz聚合物光波导电光调制器CPW电极系统.制作和测试了分别用Si、石英、玻璃做衬底的CPW电极系统.结果表明,石英衬底CPW电极质量最好,在中心电极宽度W＝20 μm、电极间距G＝50 μm和电极厚3 μm条件下,其实测损耗系数α0＝0.32 dB·cm-1·GHz-0.5,实测微波等效折射率Nm＝1.689,与理论值符合.在偏离此α0和Nm±10%的情况下,对于互作用区电极长度为L＝23.7 mm的调制器,估算带宽仍大于37 GHz.讨论了Si衬底CPW电极传
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