【摘 要】
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提出了700mm长Al2O3陶瓷导轨超精密加工的工艺流程;依次介绍了磨削、研磨使用的工艺方法和检测方法,并详细介绍了采用自行研发的超精密导轨研磨抛光机对导轨抛光的工艺方法、
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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提出了700mm长Al2O3陶瓷导轨超精密加工的工艺流程;依次介绍了磨削、研磨使用的工艺方法和检测方法,并详细介绍了采用自行研发的超精密导轨研磨抛光机对导轨抛光的工艺方法、工艺参数和检测方法。采用Zygo平面干涉仪检测导轨面形,通过子孔径拼接技术,得到导轨面700mm×260mm表面面形误差最大峰谷值为0.78λt（λ=632.8nm）,面形误差均方根值为0.1λ。
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