【摘 要】
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用于超声键合工艺的超声波发生器是引线键合封装设备的主要装置，其作用是驱动换能器并使其处于谐振工作状态，多工作频率点是未来换能器发展的一个重要方向。传统超声波发生器不
【基金项目】
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国家重点基础研究发展计划资助项目(2003CB716202);国家自然科学基金青年科学基金资助项目(50605064);国家自然科学基金资助项目(50390064)
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用于超声键合工艺的超声波发生器是引线键合封装设备的主要装置，其作用是驱动换能器并使其处于谐振工作状态，多工作频率点是未来换能器发展的一个重要方向。传统超声波发生器不具备多频段频率跟踪功能，该文构建了一种变频式超声波发生器，可动态适应不同特性的换能器，具有通用、应用面广等特性。变频式超声波发生器基于嵌入式系统，采用快捷准确的直接数字频率合成（DDS）及锁相环（PLL）反馈方案，实现自动查找换能器各谐振频率以及频率自动跟踪功能。实践证明，变频式超声波发生器可以驱动各种不同谐振频率的引线键合超声波换能器，并达到
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