【摘 要】
：
SiC单晶片表面质量对其后续半导体器件的制造有很大影响，但其材料的高硬度和高脆性，使切片过程变得非常困难。本文在往复式电镀金刚石线切割装置上采用单因素和正交法进行了SiC
【机 构】
：
西安理工大学机械与精密仪器工程学院,宝鸡文理学院机电工程系
论文部分内容阅读
SiC单晶片表面质量对其后续半导体器件的制造有很大影响，但其材料的高硬度和高脆性，使切片过程变得非常困难。本文在往复式电镀金刚石线切割装置上采用单因素和正交法进行了SiC单晶切割实验．研究了工件转速、线锯速率、工件进给速率、线锯磨损对晶片表面粗糙度的影响规律以及三维形貌特点。结果表明：附加工件旋转运动，晶片表面质量提高，划痕减少、深度变浅；线速增大、工件旋转速率增大或工件进给速率减小，表面粗糙度值减小；线锯磨损晶片表面粗糙度值增大。相对线速和线锯磨损，工件转速和工件进给速率对晶片表面质量及粗糙度的影响更大
其他文献
在我国很多企业尤其是中小企业中,存在着对会计信息化认识深度不够、缺乏信息化技术人才等问题,这在很大程度上制约了企业会计信息化的发展。因此,有必要对当前中小企业会计
在茶产业逐步走向产业化,茶农也正在实现职业化发展的背景下,通过对广西三江县茶农职业发展的实地调查,从教育培训、专业化、市场化和组织化4个方面分析了茶农职业化进程的特
在顺现代说和逆现代说之外,需要倡导第三种思风即在反思中重构现代。中国现代性的景观体现为扩张语境、强势他者、后古典、平常身份及复兴之梦。中国现代性的独特品格表现在
目的：树立居民高血压病防控理念,改变不良生活方式和行为。方法：将107例高血压患者随机分为两组：实验组45例,在降压药物治疗基础上,辅以心理疏导,指导合理膳食,戒烟、限酒,适量
随着我国煤炭资源开采利用的不断深入发展,对煤层综采采煤工作面地质保障的要求越来越高,无线电波透视探测已成为综采工作面地质构造探测最普遍采用的技术手段之一。但是,许
本文通过对石油管线穿越饮马河工程防洪评价的分析,详细介绍了防洪评价的评价内容及评价方法,为今后同类工程提供参考依据。
在日光温室栽培条件下,以甜樱桃品种红玛瑙为主要试材,研究了其早期丰产栽培相关技术。结果表明,以0～7.2℃模式计算,红玛瑙的需冷量为356.0～428.5 h;在沙壤土条件下,红玛瑙幼树
二十一世纪,网络财务报告部分或完全取代纸质财务报告将成为不可逆转的历史潮流。在这种形势之下,信息使用者能否轻易、及时的获取其所需要的财务信息成了网络财务报告必须解
异位妊娠(EP)是常见的妇科急腹症之一,随着检测方法的改进,早期异位妊娠得到诊断,非手术保守治疗异位妊娠成功率也逐渐增高,为需保留生育功能的患者带来了希望,但如何做好非