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国产高温度梯度单晶炉
国产高温度梯度单晶炉
来源 :材料工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:one9871023
【摘 要】
:
介绍了高温度梯度单晶炉的设计要点和主体结构以及国产单晶炉与国外几种工业型单晶炉主要性能比较。
【作 者】
:
郎业芳
【机 构】
:
北京航空材料研究所
【出 处】
:
材料工程
【发表日期】
:
1995年6期
【关键词】
:
单晶炉
高温梯度
设计
结构
工业型单晶炉
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介绍了高温度梯度单晶炉的设计要点和主体结构以及国产单晶炉与国外几种工业型单晶炉主要性能比较。
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