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针对目前水热法制备ZnO纳米线生长机制及成核过程中存在的一些模糊问题，利用水热法制备了一维ZnO纳米线阵列，研究了ZnO纳米线生长过程中反应液浓度、生长时间、反应压力、退火条件等实验参数对ZnO纳米线阵列的形貌、微结构及光电特性的影响，讨论了纳米线生长的成核机制及生长机理。研究结果对制备高质量一维ZnO半导体纳米线阵列并将其应用于微纳及光电子器件领域都有一定的参考价值。