Long range implantation by MEVVA metal ion source

来源 :核技术：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：tjunu520

【摘要】

：

Metal vapor vacuum arc (MEVVA) source ion implantation is a new technology used for achieving long range ion impantation.It is very important for research and a

【作者】

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ZHANGTong－He WUYu－Guang

【机构】

：

KeyLaboratoryinUniversityforRadiationBeamTechnologyandMaterialModification,BeijingRadiationCenter,Ke

【出处】

：

核技术：英文版

【发表日期】

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2001年1期

【关键词】

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MEVVA离子源离子移植扩散技术 MEVVA ion source Long-range ion implantation Diffusion coef

【基金项目】

：

国家自然科学基金，国家高技术研究发展计划(863计划)

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Metal vapor vacuum arc (MEVVA) source ion implantation is a new technology used for achieving long range ion impantation.It is very important for research and application of the ion beammodification of materials. The results showthat the implanted atom di

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