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采用As元素作为内标对分子束外延生长In_xGa_(1-x)As进行定量俄歇分析。实验测定了元素相对灵敏度因子、基体修正因子和离子溅射修正因子,给出一个定量修正公式。检测结果与电子探针、X射线双晶衍射和手册灵敏度因子法等结果进行了比较。
InxGA1—xAs的俄歇电子谱定量分析
【摘 要】
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采用As元素作为内标对分子束外延生长In_xGa_(1-x)As进行定量俄歇分析。实验测定了元素相对灵敏度因子、基体修正因子和离子溅射修正因子,给出一个定量修正公式。检测结果与
【机 构】
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中国科学院半导体研究所,中国科学院国家表面物理实验室,中国科学院半导体超晶格国家重点实验室
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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1993年7期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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