纳米压印技术的研究

来源 :装备制造技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:show20090907
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介绍了纳米压印技术的原理,讨论了纳米压印中材料的制备及热压印、紫外压印、微接触印刷等3种常用的压印工艺及其关键技术,提出纳米压印技术的研究方向和面临的挑战。
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