【摘 要】
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金丝键合是微波多芯片T/R组件中实现MMIC芯片电气互连的关键技术,键合的金丝直径、跨距、拱高和数目对组件的微波传输特性具有很大的影响。本文对金丝键合的等效电路模型进行
【机 构】
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西安电子工程研究所西安710100
【出 处】
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2009全国通信新理论与新技术学术大会暨全国计算机网络与通信学术会议
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金丝键合是微波多芯片T/R组件中实现MMIC芯片电气互连的关键技术,键合的金丝直径、跨距、拱高和数目对组件的微波传输特性具有很大的影响。本文对金丝键合的等效电路模型进行了分析,并采用三维电磁场仿真软件HFSS对金丝键合进行建模分析和仿真优化,最终得出最优结果。
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