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采用集成电路光刻工艺在玻璃衬底上制成了以聚酰亚胺（ＰＩ）为介质膜，以铬，金为电极的电容式湿度传感器，给出了传感器的制造工艺，湿敏特性和工作原理，测试结果表明，在相对湿度ＲＨ为０￣９６％范围内Ｃ￣ＲＨ曲线线性度良好，灵敏度为ＲＨ变化１％，电容变化０．１５￣０．１７ｐＦ，该种湿度传感器的ＲＨ长期稳定性为３％ａ。