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强流脉冲离子束在离子能量密度达到5J／cm^2的条件下，辐照靶材表面形成二次烧蚀等离子体，可以在基材表面沉积与靶材化学成分一致性良好的膜层。评述了近年强流脉冲离子束沉积功能膜的研究进展，为进一步进行膜层沉积机理和工艺研究提供理论依据。
强流脉冲离子束制备功能膜研究进展
【摘 要】
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强流脉冲离子束在离子能量密度达到5J／cm^2的条件下，辐照靶材表面形成二次烧蚀等离子体，可以在基材表面沉积与靶材化学成分一致性良好的膜层。评述了近年强流脉冲离子束沉积功能
【机 构】
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沈阳理工大学中俄联合高能束流实验室,华中科技大学机械科学与工程学院
【出 处】
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材料导报
【发表日期】
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2005年F11期
【基金项目】
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国家科技部国际合作项目资助（2004DFA4800）高能束流及等离子体表面改性技术
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