切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
期刊论文
硅微型生加速度计中敏感头的研究
硅微型生加速度计中敏感头的研究
来源 :新技术新工艺 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Michael_Wong
【摘 要】
:
设计了硅微型惯性加速度计的敏感头并应用激光加工和化学蚀刻相结合的工艺方法制造得到了满意的结构 ,应用激光光纤测振仪检测了悬臂梁振动特性。
【作 者】
:
王谦
蔡坚
【出 处】
:
新技术新工艺
【发表日期】
:
2000年3期
【关键词】
:
敏感头
激光
化学蚀刻
加速度计
惯性仪表
sense organ
laser processing
chemical etching
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
设计了硅微型惯性加速度计的敏感头并应用激光加工和化学蚀刻相结合的工艺方法制造得到了满意的结构 ,应用激光光纤测振仪检测了悬臂梁振动特性。
其他文献
高等师范初等教育专业小学语文教学法院课程设置构想
目前我国师范教育正在改革,小学语文教师的学历要逐步达到大专、本科。作为培养小学语文教师的专业课--小学语文教学法,目前尚无统一的课程标准,课程设置处于研究和试点阶段。高师
期刊
高等师范
初等教育专业
小学
语文
教学法
课程设置
我院“双语”教学的现状与思索
期刊
高校
双语教学
组织管理
师资队伍
外语学习环境
报纸媒体“读书”类专刊的价值取向
本文从三个方面探讨了报纸媒体"读书"类专刊的价值取向:其一,报纸媒体"读书"类专刊是沟通书与读者的有效桥梁,形成了"浅阅读文本"的"文本"价值追求;其二,报纸媒体"读书"类专
期刊
报纸媒体
“读书”类专刊
价值取向
newspaper medium
reading special issues
value direction
壳型铸造和冷冻铸造近净形铸造技术
随着铸造技术的迅速发展,以及对铸件机械性能和尺寸精度等要求不断地提高,如何获取近净形铸件的需求越来越强烈.因此生产近净形铸件的技术层出不穷,其中SC(Shell Cast ing壳
期刊
近净形铸造
壳型铸造
冷冻铸造
精密铸造
near net shape castings
shell casting
freeze casting
precis
双曲抛物面与平面束截迹的研究
对双曲抛物面与各种位置平面束的截交线所形成的图形作了详细的论述.揭示了双曲抛物面图形中隐含的特性,拓宽了二次曲面所研究的内容.
期刊
平面束截迹
双曲抛物面
轨迹
焦点
双曲线
抛物线
空间解析几何
空内冷汽轮发电机定转子线圈焊接研究
介绍了山东济南发电设备厂近年来在发电机定转子线圈焊接方面的研究及工艺特点.
期刊
空内冷
汽轮发电机
线圈
焊接
定子
转子
air-cooled
turbo-generator
winding
welding
微机PLC在机床电液自动控制系统中的应用
介绍了由单片机8031及交、直流固态继电器组成的微机PLC控制系统,对机床电、液开关量实行自动控制,并解决了多种控制逻辑任选 。
期刊
单片机
固态继电器
机床
自动控制系统
PLC
SCM
sequential control
solid-state relay
纳米氢氧化铝对微滤氧化铝膜烧结的影响
纳米氢氧化铝可促进高纯氧化铝膜的烧结.在高纯氧化铝粉浆料中加入5%的纳米氢氧化铝,能使高纯氧化铝膜的烧结温度从1 580℃降到1 350℃,且保持膜强度不变,膜孔径分布更均匀,
期刊
氧化铝膜
烧结
纳米氢氧化铝
微滤
膜材料
alumina membrane
sintering
nanometer aluminum hydroxide
理论联系实际,搞好药理教学
期刊
药理教学
理论联系实际
教学方法
课堂教学
上进心
合金调质钢件的电刷镀工艺
研究了电刷镀技术在合金调质钢件表面损伤修复中的应用,提出了电刷镀修复合金调质钢件的工艺流程及条件.
期刊
合金调质钢
电刷镀
航空工业
工艺流程
quenching and tempering steel
brush plating
process
与本文相关的学术论文