【摘 要】
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Ｆ－Ｐ标准具和干涉仪利用多光束干涉的原理，产生极锐的干涉条纹并且谐振频率对Ｆ－Ｐ腔长的变化非常敏感，根据这些特点，从利用Ｆ－Ｐ干涉仪进行激光器的频率锁定，稳频，光学倍程精密定位和纳米测量三
【机 构】
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清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
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Ｆ－Ｐ标准具和干涉仪利用多光束干涉的原理，产生极锐的干涉条纹并且谐振频率对Ｆ－Ｐ腔长的变化非常敏感，根据这些特点，从利用Ｆ－Ｐ干涉仪进行激光器的频率锁定，稳频，光学倍程精密定位和纳米测量三个角度综述了在长度测量领域Ｆ－Ｐ干涉仪的发展情况；在分析主要存在的问题和解决方法的基础上，讨论了Ｆ－Ｐ干涉仪的发展方向，并指出在纳米测量中Ｆ－Ｐ干涉仪将起到越来越重要的作用。
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