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非晶态碳膜在红外光学零件上的应用
非晶态碳膜在红外光学零件上的应用
来源 :激光与红外 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hyman_han
【摘 要】
:
非晶态碳膜具有许多接近于金刚石的、令人感兴趣的性能,能很好地用作红外零件上的保护膜和增透膜。本文叙述了非晶态碳膜的制备及光学性能等。
【作 者】
:
钱苗根
蒋学渊
【机 构】
:
上海交通大学晶体与薄膜研究室,上海交通大学晶体与薄膜研究室
【出 处】
:
激光与红外
【发表日期】
:
1990年5期
【关键词】
:
非晶态
碳膜
红外
光学器件
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非晶态碳膜具有许多接近于金刚石的、令人感兴趣的性能,能很好地用作红外零件上的保护膜和增透膜。本文叙述了非晶态碳膜的制备及光学性能等。
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