多层喷射沉积规律

来源 :中国有色金属学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:juhn7557
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对多层喷射沉积规律进行了研究,结果表明,多层喷射沉积工艺的最佳沉积条件取决于喷射距离,基体和加热坩埚的运动速度,金属液体的过热温度以及气体与金属液体的质量比等工艺参数,多层喷射沉积工艺和传统的单次喷射沉积工艺相比,易于实现最佳沉积条件。
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