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扩散硅压力传感器具有体积小、灵敏度高、响应速度快等优点，但存在温度漂移和非性问题，这是研制高精度数字压力计必须解决的技术难点，本文分析并建立了对其实现综合补偿的方程式，利用单片微机软件实现综合补偿方程，较好地解决了压力传感器的非线性、温度补偿和零点修正，研制出的数字压力计精度达０．０５级。
高精度数字压力计的研制
【摘 要】
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扩散硅压力传感器具有体积小、灵敏度高、响应速度快等优点，但存在温度漂移和非性问题，这是研制高精度数字压力计必须解决的技术难点，本文分析并建立了对其实现综合补偿的方程式
【机 构】
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上海大学自动化学院,上海自动化仪表四厂
【出 处】
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上海大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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1996年1期
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