【摘 要】
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针对侵彻武器测试过程中冲击过载大和频率范围宽的特点,提出了一种微机械电容式加速度计结构,结构中采用分布在整个芯片上的小电容阵列来代替位于中间的单个大电容器。利用AN
【机 构】
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北京理工大学机电工程学院,北京理工大学机电工程学院
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针对侵彻武器测试过程中冲击过载大和频率范围宽的特点,提出了一种微机械电容式加速度计结构,结构中采用分布在整个芯片上的小电容阵列来代替位于中间的单个大电容器。利用ANSYS对加速度计进行了仿真分析,得出加速度计的固有频率超过600 kHz,抗过载能力超过200 000g,且电容变化量大,灵敏度高。文中还给出了加速度计芯片的加工工艺流程和接口电路。
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