化学气相沉积彩色超硬镀层

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据报导,用CVD法现已能镀制近40种元素及其组合的合金镀层。此外,还可以制取下列彩色超硬镀层:碳化物、氮化物、氧化物、硼化物、硅化物、磷化物。上述镀层的硬度一般达1200~4000Hv,除超 It has been reported that nearly 40 kinds of elements and their combinations of alloy coatings can be plated by the CVD method. In addition, the following colored hard coatings can be made: carbides, nitrides, oxides, borides, silicides, phosphides. The hardness of the coating is generally 1200 ~ 4000Hv, in addition to ultra
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