氢稀释对纳米晶硅薄膜晶化特性的影响及薄膜生长机理

来源 :光子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jake9
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
以SiH4与H2作为前驱气体,采用射频等离子增强化学气相沉积技术制备了纳米晶硅薄膜.利用Raman散射和红外吸收光谱等技术,对不同氢稀释比条件下薄膜的微观结构和键合特性进行了研究.结果表明,随着氢稀释比增加,薄膜的晶化率明显提高,而氢稀释比过高时,薄膜晶化率呈现减少趋势.红外吸收光谱分析表明,纳米晶硅薄膜中氢的键合模式与薄膜的晶化特性密切相关.随着氢稀释比增加,薄膜中整体氢含量和SiH2键合密度明显减少,而在高氢稀释比条件下,氢稀释比增加导致薄膜中SiH2键合密度和整体氢含量增加.
其他文献
从参保农民视角评价新型农村社会养老保险制度满意度现状和影响因素是推动地方政府深化完善该制度需要解决的问题,然而学界对此问题的研究还不够深入。本文在对美国顾客满意
目的比较经皮激光联合臭氧消融术与单纯臭氧消融术治疗腰椎间盘突出的临床疗效。方法激光联合臭氧组治疗腰椎盘突出286例,其中L3/4椎间盘42个,L4/5椎间盘206个,L5/S1椎间盘16
本文对数字化医学影像系统中的终端显示器从技术参数、性能特点等方面作了分析对比,阐述了医学影像诊断工作选用医用显示器的重要性。强调在医学影像数字化系统建设中,医用显
<正> 顾名思义,所谓彩色钻石即是除白色钻系以外,可作为宝石、明显可感知有颜色存在的钻石。根据传统习惯,宝石界一般将浅黄、浅褐、浅灰色的钻石列入白色
急性心肌梗死是一种严重危害人类健康的疾病,其发病率与死亡率以惊人速度增长。如何利用简便易行的化验检测指标评价急性心肌梗死的预后,检出各种心脏事件的发生高危人群,采
目的探讨膝关节半月板桶柄样撕裂的MRI征象及其诊断价值。方法回顾分析膝关节半月板桶柄样撕裂23例,所有病例均经过四肢关节专用MRI检查并经关节镜证实。由2名有经验的放射科
<正>一、考点点击1.考点解读考点1:影响农业生产的区位因素影响农业生产的区位因素属于基础性知识,也是高频考点,复习中应该掌握影响农业区位因素的主要类型、结合实例理解农
《女神》不仅充满着火山喷发般的激情和粗砺狂暴的格调 ,而且注意意象的营造。郭沫若以泛神论哲学为基础 ,在古今中外诗歌意象理论的影响下 ,他在诗论和创作中十分重视意象理
审判委员会是我国特有的审判组织形式,在我国司法审判实践中发挥了重大的作用。但随着司法改革的不断深入,司法独立原则的不断完善,审判委员会制度的缺陷也日益显露,学术界对
编者按:地图应用已成为地图学的一个组成部分。地图应用于国民经济、科学文教卫、国防建设等部门日益广泛,而人们科学使用地图的知识尚不足,因此拥有丰富信息的地图没有能发