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本文讨论了一种新型的离子透镜,它是由分别加不同电位的一个圆筒和一根沿轴芯线所组成的静电同轴圆简透镜。文中利用数值计算的方法研究了它的场分布,轨迹及光学特性。
ELCO透镜
【摘 要】
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本文讨论了一种新型的离子透镜,它是由分别加不同电位的一个圆筒和一根沿轴芯线所组成的静电同轴圆简透镜。文中利用数值计算的方法研究了它的场分布,轨迹及光学特性。
【机 构】
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南京大学物理系,上海科技大学
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1989年2期
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