高精密工作台伺服驱动环节的设计与研究

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研究并设计了应用于母盘刻录机的高精密工作台伺服驱动环节。在基于DSP数字闭环控制器的基础上,通过理论建模、程序仿真和实验验证,对驱动环节进行了优化设计。在驱动环节中采用了模拟速度环、PI校正环节和线性功放,使工作台在低速下有较快的响应和较小的稳态误差。实验结果表明,使用驱动环节后的伺服控制系统有利于提高母盘的刻录精度。 Research and design of the high-precision stage servo drive applied to the master recorder. Based on DSP digital closed-loop controller, the drive is optimized by theoretical modeling, program simulation and experimental verification. In the drive section of the analog speed loop used, PI correction and linear amplifier, the table at low speed has a faster response and smaller steady-state error. The experimental results show that the servo control system after using the drive is conducive to improve the mastering accuracy.
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