集成式三相流脉动微混合芯片

来源 :吉林大学学报：工学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jiachengpu

【摘要】

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为适用于较复杂的混合体系和实现芯片的集成化,基于压电驱动技术提出一种集成式三相流脉动微混合芯片。以混合度作为微混合效果的评定指标,对其进行仿真优化分析,优选出微混

【作者】

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刘国君马祥杨志刚王聪慧吴越王腾飞

【机构】

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吉林大学机械科学与工程学院

【出处】

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吉林大学学报：工学版

【发表日期】

：

2018年4期

【关键词】

：

流体传动与控制压电驱动三相流脉动微混合银纳米粒子 fluid transmission and controlpiezoelectric actuati

【基金项目】

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国家自然科学基金项目（51375207）, 吉林省自然科学基金-学科布局项目（20170101136JC）

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为适用于较复杂的混合体系和实现芯片的集成化,基于压电驱动技术提出一种集成式三相流脉动微混合芯片。以混合度作为微混合效果的评定指标,对其进行仿真优化分析,优选出微混合芯片的结构参数与工作参数。利用注模法与键合工艺制作出尺寸为100 mm×50mm×5mm的微混合芯片。利用银纳米粒子的液相合成对该芯片的混合性能进行实验验证。结果表明：当微混合芯片的混合流道宽度为0.4mm、入口流道夹角为120°、频率为200Hz、入口流量为3.5mL/min时,利用该芯片可控合成了粒径约29nm

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