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反射式声学显微镜的输出信号主要由近轴声波的反射信号以及声表面弹性波的漏波信号组成。其中漏波信号是否存在，决定于瑞利角θＲ是否落在声学透镜的孔径张角θｍ以内。本文在此基础上，设计了一种带有声阑的声学透镜，利用声表面弹性波对固体材料表面的非均性进行了研究，获得了材料表面微弱梯度非均性的分布图像。
扫描声学显微镜对固体材料表面非均性的研究
【摘 要】
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反射式声学显微镜的输出信号主要由近轴声波的反射信号以及声表面弹性波的漏波信号组成。其中漏波信号是否存在，决定于瑞利角θＲ是否落在声学透镜的孔径张角θｍ以内。本文在此基
【机 构】
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中国科学院电子学研究所
【出 处】
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材料工程
【发表日期】
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1998年1期
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