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采用室温沉积高温退火的方式在单晶MgO（001）基片上制备了具有马氏体相变的铁磁Ni-Mn-Ga薄膜。沉积态薄膜呈柱状晶结构，高温退火后柱状晶的晶界变得模糊。溅射气压为0．5Pa和0．2P咀的薄膜的马氏体相变起始温度分别为290K和332K，溅射气压改变了薄膜成分，进而改变了相变温度。根据300K测得的磁化曲线，退火后溅射气压为0．5Pa和0．2Pa的薄膜分别显示出软磁和硬磁特性，这与M-T曲线的结果是相符的。室温下，0．5Pa薄膜的磁畴形貌呈现出迷宫状；而0．2Pa样品则显现出马氏体的浮凸，与它的磁畴形