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金属氧化物半导体场效应晶体管之发展——从起始到ULSI
金属氧化物半导体场效应晶体管之发展——从起始到ULSI
来源 :航空精密制造技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:C12sdn
【摘 要】
:
金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)是用于ULSI中的重要器件。现在,我们评述从MOSFET的起始,直到在ULSI中应用时期的主要里程碑,并且讨论MOSFET功能的未来趋势。
【作 者】
:
施敏
【机 构】
:
交通大学电子研究所教授台湾新竹
【出 处】
:
航空精密制造技术
【发表日期】
:
1993年1期
【关键词】
:
半导体
集成电路
电子器件
semiconductorICelectronic device
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金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)是用于ULSI中的重要器件。现在,我们评述从MOSFET的起始,直到在ULSI中应用时期的主要里程碑,并且讨论MOSFET功能的未来趋势。
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