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钛酸锶钡(BST)薄膜是一种重要的铁电薄膜,应用广泛,是高新技术研究的前沿和热点之一.简要介绍BST薄膜的制备方法和应用,重点讨论BST薄膜的极化、电压非线性、漏电流的机理、表征及影响因素,并综述了铁电薄膜的疲劳机制和消除疲劳措施等方面的研究进展,提出了研究中需要解决的一些问题.
钛酸锶钡（BST）薄膜的介电性能机理研究进展
【摘 要】
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钛酸锶钡(BST)薄膜是一种重要的铁电薄膜,应用广泛,是高新技术研究的前沿和热点之一.简要介绍BST薄膜的制备方法和应用,重点讨论BST薄膜的极化、电压非线性、漏电流的机理、
【机 构】
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电子科技大学微电子与固体电子学院
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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2003年3期
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