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微桥结构Ni膜杨氏模量和残余应力研究

来源 :现代科学仪器 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xm1209xm1028

【作 者】

：

周勇  王明军  杨春生  陈吉安  王莉  丁桂甫  张亚民 

【出 处】

：

现代科学仪器

【发表日期】

：

2004年08期

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