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硅基锆钛酸铅铁电薄膜异质结构的研究进展
硅基锆钛酸铅铁电薄膜异质结构的研究进展
来源 :绝缘材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Hzw_56
【摘 要】
:
介绍了锆钛酸铅铁电薄膜异质结构的研究进展,举例说明了锆钛酸铅薄膜异质结构的特性,并进行了分析比较。氧化物电极结构将替代现有的金属电极结构。从而有效解决铁电性能的退化
【作 者】
:
张洪伟
校峰
杨艳
【机 构】
:
电子科技大学电子薄膜与集成器件重点实验室,西北工业大学理学院应用化学系
【出 处】
:
绝缘材料
【发表日期】
:
2006年1期
【关键词】
:
铁电薄膜
异质结构
锆钛酸铅
氧化物电极
ferroelectric thin film
heterostructure
lead zirconate-ti
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介绍了锆钛酸铅铁电薄膜异质结构的研究进展,举例说明了锆钛酸铅薄膜异质结构的特性,并进行了分析比较。氧化物电极结构将替代现有的金属电极结构。从而有效解决铁电性能的退化问题。是未来铁电薄膜异质结构的发展方向。
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