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介绍了一种用于多晶硅生产用的还原炉高压启动装置.该装置能够实时检测硅芯中的电流和其变化趋势,自动调整施加在硅芯上的电压,从而实现多晶硅生产中高压启动和预加热阶段的自动化控制,并最终实现与中压加热设备的可靠衔接.
多晶硅生产用还原炉高压启动装置的研制
【摘 要】
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介绍了一种用于多晶硅生产用的还原炉高压启动装置.该装置能够实时检测硅芯中的电流和其变化趋势,自动调整施加在硅芯上的电压,从而实现多晶硅生产中高压启动和预加热阶段的
【机 构】
：
东方电气自动控制工程有限公司
【出 处】
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东方电气评论
【发表日期】
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2010年2期
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