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Axcelis Technologies推出全新Integra RS干式光阻去除清洗系统,让Axcelis成熟先进制程能力拥有更高的生产力及弹性,为目前市场上的先进存储器与逻辑原件提供了最高的制造能力。Integra RS系统独特的多反应腔设计包括了成对的反应室制程模组,可以达到最高产出。由于每