【摘 要】
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通过理论计算及HFSS仿真设计了微带谐振器,并通过比对三维约束结构存在的HFSS仿真结构验证了三维结构的可行性。实测制备的微带谐振器空载谐振频率为2.5GHz,回波损耗系数（S11）
【机 构】
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华东理工大学承压系统与安全教育部重点实验室
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通过理论计算及HFSS仿真设计了微带谐振器,并通过比对三维约束结构存在的HFSS仿真结构验证了三维结构的可行性。实测制备的微带谐振器空载谐振频率为2.5GHz,回波损耗系数（S11）为-17.94dB。该微带谐振器成功实现了三维约束微尺度下,工作频率为2.5GHz,工作压强范围为30Pa至大气压、功率范围为0.76W时的微等离子体放电。通过光谱仪检测压强为7.5×104 Pa下的Hβ谱线,应用斯塔克展宽求得此压强下平均电子密度为5.54×101 3 cm-3,该值符合微等离子体源的电子
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