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本文分析了压电定位元件的变位与控制电压间存在滞后回环的根本原因，阐述了电荷控制法可实现其线性控制的机理，揭示了该定位控制系统的特殊性，指出了利用电荷控制法获得良好的定位线性度及动态特性的途径。
压电定位元件的非线性及其线性化控制原理
【摘 要】
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本文分析了压电定位元件的变位与控制电压间存在滞后回环的根本原因，阐述了电荷控制法可实现其线性控制的机理，揭示了该定位控制系统的特殊性，指出了利用电荷控制法获得良好的定
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械研究所
【出 处】
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功能材料与器件学报
【发表日期】
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1996年3期
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