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提出了一种基于驻极体的MEMS微型振动式发电机，该微型发电机通过极化电荷在由振动引起变化的电容极板之间转移，实现外部振动机械能向电能的转换。在已研制出的驻极体材料基础上，通过对微型振动式发电机的叉指参数、驻极体与电极的间距等参数进行了计算分析．从理论上得到了最大功率为250μW的微型振动式发电机模型。