【摘 要】
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目的研究铁电效应对钽酸锂加工的潜在影响。方法选用3000#的金刚石粉料制作的金刚石丸片,将其固结在设计的夹具中制成一种新型固结磨盘,并与游离磨料研磨加工结果进行比较,然
【机 构】
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浙江工业大学特种装备制造与先进加工技术教育部重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金(51605440,51575492),中国博士后科学基金(2017M621966),浙江省公益技术研究项目(LGG19E050021)
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目的研究铁电效应对钽酸锂加工的潜在影响。方法选用3000#的金刚石粉料制作的金刚石丸片,将其固结在设计的夹具中制成一种新型固结磨盘,并与游离磨料研磨加工结果进行比较,然后采用恒温水浴装置将冷却液温度控制在低温状态,并添加电解质溶液,以材料去除率、表面形貌及粗糙度作为指标,进一步分析铁电效应对固结磨盘加工钽酸锂的结果影响。结果游离磨料加工10 min后,钽酸锂晶片表面粗糙度Sa从初始的419.112 nm降至232.319 nm,材料去除率MRR为36.78μm/h,晶片表层存在磨粒嵌入、大量凹坑及深划痕等
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