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为提高MEMS硅基底表面的抗摩擦磨损性能,采用电泳沉积法在硅基底表面制备石墨烯薄膜,利用旋转摩擦试验机测试不同条件下制备的石墨烯薄膜的摩擦性能,并用3D轮廓仪考察相应的磨损体积.结果表明：当石墨烯溶液质量浓度为0.3mg/mL,沉积电压为20V时,摩擦系数最低达到0.079,同时磨损体积降低2个数量级.采用电泳沉积法制备石墨烯薄膜具有巨大的发展前景.