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目的研究HNO3浓度、喷淋压力、掩膜间隙、加工时间对侧蚀量的影响规律。方法设计正交实验，测定蚀刻后的侧蚀量，采用极差分析、方差分析法对侧蚀量进行分析，通过验证性实验进行验证。结果侧蚀量随加工时间的延长以及喷淋压力、加工时间的增大而增大，随HNO3浓度的增大而减小。侧蚀量最小的工艺是：HNO3浓度为1．8mol／L，啧淋压力为0．2MPa，掩膜间隙为50μm，蚀刻时间为2min。结论加工时间对侧蚀量有显著性影响，喷淋压力对侧蚀量影响较大，其次是掩膜间隙和HNO3浓度。验证性试验证明最优工艺方案可行。