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本文阐述了环形阴极电子枪的可行性。通过模拟软件lorentz 2D的验证，这种新型环形阴极电子枪可以提供更高的脉冲电流（〉1μA）和更高的分辨率（〈20nm）。
论新型聚焦电子束—环形阴极电子枪的可行性
【摘 要】
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本文阐述了环形阴极电子枪的可行性。通过模拟软件lorentz 2D的验证，这种新型环形阴极电子枪可以提供更高的脉冲电流（〉1μA）和更高的分辨率（〈20nm）。
【机 构】
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抚矿工学院
【出 处】
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中国电子商务
【发表日期】
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2013年9期
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