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介绍MEMS开关的分类、特性、制造、可靠性和应用。
MEMS开关及其应用
【摘 要】
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介绍MEMS开关的分类、特性、制造、可靠性和应用。
【机 构】
：
罗特电子有限公司
【出 处】
：
电子元器件应用
【发表日期】
：
2003年8期
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