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利用离子注入法制备SiO：Er样品，并在不同温度下进行退火处理。通过微区拉曼光谱、吸收光谱、X射线光电子能谱等手段对其进行结构表征，并进行了室温和变温的光致发光特性研究，得到了可见区和红外区的光致发光。其中，^4S3／2→^4I15/2的发光强度随温度的升高，先增强后减弱，呈现出反常的温度淬灭效应，此现象是由Er^3＋与SiO2的缺陷之间的能量传递造成的。