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本文简述了半导体单晶材料中常见的各种晶体缺陷及检测方法。
半导体单晶中的缺陷和观察
【摘 要】
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本文简述了半导体单晶材料中常见的各种晶体缺陷及检测方法。
【机 构】
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重庆光电技术研究所
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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1987年2期
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