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利用金属有机物分解法（MOD）在 Pt/Ti/SiO2/Si（111）衬底上制备了, Bi3.15（Eu0.7Nd0.15）Ti3O12（BENT）薄膜并经600、650、700、750℃退火处理. 通过纳米压痕法测试了薄膜的硬度和弹性模量, 采用 X 射线衍射（XRD）测量了薄膜的残余应力. BENT 薄膜的晶粒尺寸随着退火温度的升高而不断变大. 当晶粒尺寸从 37 nm 增大到 46 nm 时, 薄膜的硬度值从 8.4 减少到 3.1 GPa, 弹性模量从 171.5 减小到 141.6 GPa. 随