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期刊论文
电子工业洁净室工艺排气检测及调试
电子工业洁净室工艺排气检测及调试
来源 :智能建筑与智慧城市 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhanghui1860
【摘 要】
:
工业洁净室排放的气体包含较多有毒、腐蚀性气体,且极易产生冷凝液,对洁净室环境及工作人员安全造成很大的隐患。论文结合实际工程,对洁净室工艺排气检测和调试进行了分析,通
【作 者】
:
翟传明
章忠飞
王娟娟
苏乃硕
闻义
张扬艺
【机 构】
:
中电投工程研究检测评定中心有限公司,京东方科技集团股份有限公司
【出 处】
:
智能建筑与智慧城市
【发表日期】
:
2019年2期
【关键词】
:
电子工业
洁净室
排气
检测与调试
electronic industryclean roomexhaustdetection and debugging
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工业洁净室排放的气体包含较多有毒、腐蚀性气体,且极易产生冷凝液,对洁净室环境及工作人员安全造成很大的隐患。论文结合实际工程,对洁净室工艺排气检测和调试进行了分析,通过数据分析和对比排除安全隐患,保障工业洁净室安全运行。
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