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针对单晶硅材料的特点,研究单晶硅的电火花加工工艺对促进电火花加工技术在微机电系统中的应用有重要的意义.对单晶硅材料进行电火花加工工艺试验研究的结果表明,在一定的条件下,电火花加工工艺可成为单晶硅材料的一种较有效的加工方法.
单晶硅材料电火花加工试验研究
【摘 要】
：
针对单晶硅材料的特点,研究单晶硅的电火花加工工艺对促进电火花加工技术在微机电系统中的应用有重要的意义.对单晶硅材料进行电火花加工工艺试验研究的结果表明,在一定的条
【机 构】
：
南京航空航天大学
【出 处】
：
电加工与模具
【发表日期】
：
2003年5期
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