基于二维正交光栅的高精度质心探测方法

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为了探测高精度的远场光斑质心,本文提出了一种多光斑质心探测方法。该方法利用二维正交的衍射光栅,将远场单光斑扩展为多光斑阵列,通过增加探测光斑的输入信息量,提高质心探测精度。实验结果表明,远场多光斑质心探测精度比单光斑质心探测精度提高了近4倍,单个光斑质心探测误差均方根(RMS)为0.0385 pixels,16个多光斑阵列平均质心探测误差RMS为0.0099 pixels。相对于传统的质心探测方法,本文所采用的远场多光斑质心探测方法更为简便。
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