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等离子体氮化与物理气相沉积复合处理的研究进展
等离子体氮化与物理气相沉积复合处理的研究进展
来源 :机械工程材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户:iSee
【摘 要】
:
简要综述了等离子体氮化及物理气相沉积复合处理的新进展,主要介绍了复合处理的工艺进展、复合处理镀层的组织结构、膜/基结合力、耐磨性和耐腐蚀性,并对复合处理的应用前景进行
【作 者】
:
赵彦辉
董利民
杜昊
于传跃
肖金泉
于宝海
【机 构】
:
中国科学院金属研究所,沈阳华俄科技发展有限公司
【出 处】
:
机械工程材料
【发表日期】
:
2012年6期
【关键词】
:
等离子体氮化
物理气相沉积
复合处理
组织
性能
plasma nitriding
physical vapor deposition
duplex tre
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简要综述了等离子体氮化及物理气相沉积复合处理的新进展,主要介绍了复合处理的工艺进展、复合处理镀层的组织结构、膜/基结合力、耐磨性和耐腐蚀性,并对复合处理的应用前景进行了展望。
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